SJT 31123-1994自动多探针测试台完好要求和检查评定方法
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ID： |
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文件大小(MB)： |
0.26 |
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页数： |
4 |
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日期： |
2024-7-28 |
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SJ/T 31123-94,中华人民共和国电子行业标准,自动多探针测试台完好要求和检查评定方法,1主题内容与运用范围,本标准规定了 TZ-107型和TZ—3c型自动多探针测试台（以下简称探针）的完好要求,和检査、评定方法,本标准适用于TZ—107型、TZ—3c型自动多探针测试台,其他类型的探针测试台,亦可,参照执行,2术语,2.1 自动多探针,利用两个或两个以上的金属探针能自动将圆片上集成电路芯片的电极与测试仪联接,以,完成集成电路性能参数中间测试的电子机械设备,2.2 探针,具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针,2.3 探针卡,根据被测芯片电路所需的探针数量及布局,将探针对应固定于ー块基板上的测试探头,2.4 探边器,用来探测探针是否已测至被测圆片边缘的部件,2.5 分离式测试探头,可在一定范围内分别调解探针的X、Y、Z方向距离,用以安装固定探针的部件,2.6 打点器,给性能不合格的芯片打上标记的部件,2-y承片台,能固定芯片,完成。向对准及Z向升降的部件,2.8 探针支盘机构,为测试探头、打点器、探边器提供安装位置,并通过测试探头实现芯片电路与测试仪之间,的机电联接的机构,2.9 图形数控制,从键盘或拨码开关给微机内输入X方向的图形数目及图形间距,用以控制工作台移动,3完好要求,3.I 精度,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,sj/t 31123-94,TZ-107型TZ—3c型探针的几何精度和运动精度的完好要求和检测方.法,见表1,发,序号检测项目,允 差 mm,检测器具与方法翁 注,TZ 10? 型TZ 3(、型,（ロ,步进工作台,X -Y方向的垂,宜度,wo. 045,测量长度,100,<.0. 0025,用标准角尺、测微仪,在工作,台有效行程内检测,関是以最,大差值计,G,步进工作台定,位精度,岂 0. 013 <■土。. 01,用标准I级量块和电感L匕较,仪,检测工作价定位精度。误,差以最大差值计,------------ ---- 一一一,步进工作台的,可重复性,言 士 0.003 < + 0. 0025,在工作台行程范围内,选定一,移动距离,使工作台到步进到,位,用电感比较仪检测,误お,以最大差值计,（』4,步进工作台的,步进分辨率,<0. 01 <0. 01,在运行条件下,用电感!:匕较仪,检测。误差以最大差值计.,（爲,步进工作台X、,Y方向行程公、,英制转换误差,<+-0. 005 设备现场操作测试,G6,承片台‘吸片盘,在高位时端面,跳动（包括吸片,.盘回转时及承,片台沿X、Y方,向移动时示值,误差）,<0.015 <0. 008,在运行条件ド,用电感比较仪,检测木片呑吸片盘在高位时,的表面跳动,误差以最大差值,计,g7 承片台Z向行,程,)~0. 8可谓,0-,0.8可调,开机操作,用指示器检测承片,分Z方行程的叩周性.,3.2 性能,应根据设备规定的性能,完成集成电路性能参数中间测试。经测试的产品.质指M色め,测试后不合格品,应达到规定要求,3.3 操作系统,2,SJ/T 31123-94,3. 3.1各操作、变速手柄、开关、按钮启动灵活、定位可靠、标志齐全,3. 3-2制动、限位、保警装置齐全、灵敏可靠,3.4传动系统,3.4 -1设备运转平稳、无冲击、无振动,3.4 .2采用步进电机变速应稳定、灵敏,3.5 真空系统,3 . 5-1真空系统各装置完整无损,管路齐全、气路畅通,3 .5.2压カ表灵敏可靠,气阀装置有效,吸片可靠,3.6 电气系统,3. 6.1电气性能良好运行可靠,保护装置齐全、有效,3. 6-2线路完整、绝缘层无破裂、无漏电现象,3-6- 3印刷线路板与相应插座应接触可靠、不得有错位、卡死等现象,3.7微机控制系统,3 . 7.1各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定、工作状态良好,显示清晰,3 .7.2显示器能正常显示通电自檢的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,3. 7-3输入/输出程序正确无误,3- 7.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,3. 7. 5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,3 . 7. 6所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和,整机外壳之间的电阻不得大于0-1ユ,3 .8附件,附件齐全、保管良好,无锈蚀、积尘、损伤,3-9安全防护,3. 9.1各安全防护装置齐全、可靠,3. 9.2接地可靠、标志明显,3.10维护保养,3.10.1 设备内外清洗无锈蚀,3-10-2使用环境条件为:,a、温度:23 土 3 c,b、空气净化度与相对湿度与半导体装酷エ艺所需条件相同,3-10- 3滚珠丝杠、直线导轨及承片台直线承处,一年内滴加精密仪表油3.5滴,3-10-4暂不使用的探头、应存放在探针盒内,防止针尖损坏,3.10.5 探边器的触头与片簧接触处、应保持清洁、以保证接触良好,3.10.6 为防止针头变位、注意不要碰撞探针支盘、以便于再次使用,3.10-7工作完毕、应切断电源、盖上罩布,3,SJ/T 31123-94,4检査、评定方法,4.1检査方法,4.1-1设备精度按表1所列方法检测.,4.1 -2各性能指标,结合产品工艺技术要求,在设备现场逐项测试。.,4.1.3对各系统完好要求所列内容,在设备现场检测,4.2 评定方法,4.2-1完好要求所列内容中,3.1、3. 2各项指标和3. 9. L3-9. 2为主要项目,其余为次要项,目,4. ……
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